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在纳米标准做冰雕,这项绝活儿意思重大
更新时间:2020-12-11

时值冬季

在薄至300纳米的冰胶上描绘图案,图中最小的微型雪花直径仅1.4微米,所有比例尺长度均为1微米。

“在样品上涂抹光刻胶,这是传统光刻加工的第步。这个动作有点像摊鸡蛋饼,假如铁板不平坦,饼就摊不好。同时,被抹胶的处所,面积不能太小,否则胶不轻易摊开摊匀;材质不能过脆,否则容易决裂。”仇旻实验室助理研究员赵鼎说。

◎ 科技日报记者 刘园园 通信员 冯怡

第二步,用电子束(相称于肉眼看不见的“雕刻刀”)在真空环境中将“科技日报”4个字写在光刻胶上,对应地位的光刻胶性质会产生变更。而后用化学试剂洗去改性局部的胶,片“镂空”的光刻胶模具就做好了。

运用冰胶的电子束光刻症结步骤。

举个例子,如果我们要在硅晶片上加工4个纳米尺度的金属字“科技日报”,依照传统电子束光刻技术大略需要这么多少步:

他们的“冰雕”

各种竹苞松茂的冰雕又要登场

传统电子束光刻技术的要害步骤。

西湖大学科研团队

“我们把样品放入真空装备后,先给样品降温再注入水蒸气,水蒸气就会在样品上凝华成薄薄的冰层。”赵鼎说,光刻胶之所短偏偏是水之所长。

正如常言道,兵无常势,水无常形。在零下140度左右的真空环境中,无常形的水蒸气可以包裹任意外形的表面,哪怕是极小的样品也不问题,慎海雄再添新职务 出任中宣部副部长 广电总局 中宣部;水蒸气的轻若无物,也使在懦弱材料上加工变成可能。

如果把光刻胶换成薄薄的层冰,会是什么样的后果?

小到微米甚至纳米级别

不丢脸出,光刻胶是微纳加工进程中十分关键的材料。不外,平码三中三论坛,光刻胶存在必定局限性。

要懂得他们研发的冰刻技术,需要先懂得传统的电子束光刻技术。

科研职员先容,一旦将光刻胶换成冰胶,因为水的特别性质,还可能极大地简化加工流程。

第一步,咱们须要将一种叫光刻胶的资料平均地涂抹在晶片名义。

在微米甚至纳米级别的“冰雕”上,该研讨团队已经能够实现从准确定位到精准把持雕刻力度,再到以“冰雕”为模具制造构造、加工器件——一种新型三维微纳加工体系雏形初现。

记者12月9日从西湖大学获悉,近两个月来,西湖大学纳米光子学与仪器技巧试验室负责人仇旻跟他的研究团队在《纳米快报》《纳米标准》《利用表面迷信》等国际著名期刊上,持续发表了一系列对于冰刻的研究结果。

传统光刻胶存在局限

接下来,需要将金属“填”进镂空位置,让它“长”在晶片表面;最后再用化学试剂将所有光刻胶荡涤清洁,去除废物后只留下金属字。

光刻胶之短,“冰胶”之长

展现了种“冰雕”绝活儿

对应光刻胶,科研人员给这层水冰起名“冰胶”,给冰胶参加的电子束光刻技术起名“冰刻”。


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